用語集
層流方式
読み方
そうりゅうほうしき
クリーンルームで上下方向に均一な気流を作る方式。乱気流方式より清浄度が高く、半導体工場等で採用される、現代の高度なクリーンルーム空調方式。一定方向の気流で塵埃を効率的に排出する技術。
クリーンルームで上下方向に均一な気流を作る方式。乱気流方式より清浄度が高く、半導体工場等で採用される、現代の高度なクリーンルーム空調方式。一定方向の気流で塵埃を効率的に排出する技術。
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