用語集

HEPAフィルター

読み方
へぱふぃるたー

高性能空気フィルター。0.3μmの粒子を99.97%以上捕集する、クリーンルームや病院の手術室等で採用される、現代の高度な空気清浄技術。半導体工場等の精密な環境制御に必須。

← 用語集一覧へ戻る

お気軽にご相談ください!