用語集
HEPAフィルター
読み方
へぱふぃるたー
高性能空気フィルター。0.3μmの粒子を99.97%以上捕集する、クリーンルームや病院の手術室等で採用される、現代の高度な空気清浄技術。半導体工場等の精密な環境制御に必須。
高性能空気フィルター。0.3μmの粒子を99.97%以上捕集する、クリーンルームや病院の手術室等で採用される、現代の高度な空気清浄技術。半導体工場等の精密な環境制御に必須。
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