用語集
ULPAフィルター
ULPAフィルター(Ultra Low Penetration Air Filter、超高性能エアフィルター)とは、HEPAフィルター(High Efficiency Particulate Air Filter)よりも更に高性能な空気浄化フィルターで、JIS Z 8122・JIS B 9927で「定格風量における粒径0.15μmの粒子に対し99.9995%(あるいは99.999%以上)の捕集率を有するフィルター」と定義される、現代のクリーンルーム・半導体製造・バイオセーフティ・医療施設で広く採用されている超高精度空気浄化技術製品概念である。HEPAフィルター(粒径0.3μmで99.97%以上捕集)との比較で、ULPAフィルターは、第一に「捕集対象粒径がより小さい(0.15μm対応)」、第二に「捕集効率がより高い(99.9995%以上)」、第三に「半導体クリーンルーム規格Class 1〜Class 100対応」、第四に「フィルター単価が高い(HEPAの3〜10倍)」、第五に「圧力損失が大きい」、第6に「寿命が短い(数年〜10年)」などの違いがある。主要用途として、第一に「半導体製造工場(クリーンルーム)」(最大用途、ナノレベルの粒子混入を防ぐ)、第二に「液晶パネル・OLED製造工場」、第三に「医薬品製造工場(PIC/S準拠、無菌製剤)」、第4に「バイオセーフティラボ(BSL-3・BSL-4の生物学的封じ込め)」、第五に「医療施設の手術室・無菌病室(造血幹細胞移植病室など)」、第六に「精密機器組立・光学機器製造」、第七に「ナノテクノロジー研究施設」などが挙げられる。代表的なメーカーは、日本無機株式会社、日本エアーテック株式会社、ニッタ株式会社、Cambridge Filter、AAF Internationalなど。日本の半導体産業の競争力維持・回復には、最先端クリーンルーム技術が不可欠で、ULPAフィルターを含む高度な環境制御技術が国家戦略的にも重要である。マンション・ビル・ホテルの大規模修繕工事における直接関連は限定的だが、テナントビルへの半導体・医薬品関連企業の入居誘致、研究施設・データセンターを含む複合施設の改修などで関連知識が活用される機会がある。明誠フランチャイズの空調・設備工事専門会社では、特殊環境施設の改修対応力も備え、JCSAでも特殊空調・クリーン環境関連のセミナーを開催している。

